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    HC-PL12

    高效桌上型系統

     

    MWD 12 結構緊湊的桌上型設計

    適用于研發和小批量生產

    具有專業的PLC 控制系統

     

    選件

    ● 真空系統

    ● 臭氧過濾器

    ● 附加工藝氣路

    ● 散料樣品旋轉臺

    ● 清洗隔板

    ● 側裝微波源

    ● 軟啟動和慢速填充

    ● 其它定制選件

     

    技術參數

    外形尺寸:

    腔體內部尺寸:

    腔體內部尺寸:

    W225 x H225 x D225 mm

    微波功率:

    2.45 GHz, 50-300W 可調

    工藝氣路:

    標準1 路,包括質量流量計和控制電磁閥等

    真空接口:

    DN16 KF

    DN16 KF

    230 V, 50/60 Hz 0.5KW 不含真空泵

    控制單元:

    觸摸屏PLC控制

    真空規:

    Pirani真空計

    主要應用:

    半導體材料表面有機污染物去除和表面活性增強

     

    產品特點

    ● USB 接口

    ● 以太網接口

    ● 遠程維護(VPN)

    ● 微波元上裝

    ● 易于操作的圖形化界面

     

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